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產品服務


1、CMOS,分立器件,功率器件, GeSi和埋層等外延
2、外延片直徑:100、125、150、200 mm
3、月生產能力30萬片以上    
4、10級潔凈廠房
5、外延爐:
  LPE3061
  LPE2061S
  CSD EpiPro 5000
  ASM Epsilon2000
  630A
  680A
  E200C
6、硅源:
  三氯氫硅
  二氯氫硅
7、摻雜物:
  硼烷
  磷烷
  砷烷
8、生長模式:
  常壓
  減壓
9、客戶特定參數
10、碳化硅外延
  4英寸N型
  6英寸N型
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