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踐行中國智造 引領半導體設備國產化

文章作者:puxingdz 上傳更新:2020-02-27
 11月16日,河北普興電子科技股份有限公司與北方華創科技集團股份有限公司在石家莊舉行硅外延設備國產化技術交流會暨合作研發國產外延設備全面量產總結交流大會。普興電子總經理陳秉克、副總經理薛宏偉、副總經理高淑紅、北方華創副董事長耿錦啟、副總裁吳軍、營銷副總裁紀安寬出席會議,雙方團隊約50名技術人員參加了本次會議。
  會議由北方華創馬志芳博士主持,在技術交流正式開始前,北方華創吳軍副總裁首先介紹了華創與普興多年的合作歷程和雙方的發展進程。普興公司副總經理薛宏偉也對國產設備近些年的發展和進步給出了高度的評價,從最開始2013年的第一臺國產外延爐,到2018年的第51臺腔外延爐,從最開始機臺良率40%到如今單個機臺良率超過99%,從最開始的多片設備到現在的單片設備,這些都展示著普興電子與北方華創在外延設備國產化的重要歷程,薛宏偉還指出雙方只有通過不斷的交流,才能共同進步,實現互利共贏。
  會上雙方技術人員繼續就硅外延爐的機械、電氣、軟件、工藝原理等方面進行了熱烈的交流與討論:北方華創對他們的SiC涂層技術、清洗機技術等研發新方向進行了介紹;普興電子工程師就單片爐、多片爐等多款外延爐的使用體驗進行介紹和交流,在工藝、設備、使用體驗方面與進口外延爐綜合比較打分,對機臺的優勢及現存問題進行了客觀的評價。
  技術交流結束后,北方華創副董事長耿錦啟對各位主講人的精彩報告給予了充分肯定,對外延設備的國產化進行了回顧及展望,對普興電子在外延設備國產化進程中給予的幫助和支持表示衷心的感謝。
  會議最后普興電子總經理陳秉克深刻分析了中國半導體產業嚴峻的經濟形勢,并指出半導體設備及原材料的國產化必須加速推進,只有掌握核心技術的自主知識產權,產業才能穩步健康發展。普興電子將會順應時代潮流,把握產業方向,在12英寸硅外延和碳化硅等新型半導體材料方面與新老朋友一起共同協作開啟新的篇章。

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